第47节（2 / 3）

息也不过是一个下午，第二天三人就被分配了新的任务。

李筠被分到研究半自动接近式光刻机的赵本民教授，因为姜文泽教授接触式这里人手充足，而新开发的接近式和投影式还处于正在开发的阶段，需要的人手不少，像是其他两人就被分到了投影式实验室。

说来，她第一次来到实验室看到的就是接触式和投影式的对抗现场，就是不知道后面结果如何。

人手是真的缺，她刚到实验室，就被赵本民教授的助手赵蔓分配到负责物镜的组别。

可以说，除了光源之外，光刻机的研究当中，镜头就是其最核心的部分，包括物镜和曝光台。

李筠被分到的是物镜观察，她需要一遍又一遍地观察从激光器发射而来的激光，通过矫正器、能量探测器、光束形状设置、遮光器到达掩膜台后，透过物镜在硅片上显影蚀刻制作晶圆。

物镜可以调整光束的形状，入瞳、透过平面、出瞳，将掩膜上的电路图案调整缩小，聚焦成像在晶圆上。

对于像差调节的要求特别高，不确定性很大，她自己都不敢说，什么时候才能调整出最合适的比例。

唯一值得庆幸的一点就是，接近式光刻机在掩膜板与光刻胶基底层留有一个狭窄的空隙，不会没进行一次尝试就要担心掩膜被污染，只得关闭设备重新再来一次。

负责带着李筠学习的赵蔓，看着她那熟练的动作，满意地点点头。

终于送来的不是一个愣头青，什么都不懂的人，要知道他们团队现在的任务非常重，时间紧迫，根本没有人想要把自己的时间浪费在无意义的人和事情上。

她看着李筠有模有样的动作说：“看你的样子也不是什么完全新手，你和于亮一起负责物镜的调试，不断找出最小比例的组合模式，有什么新变化记得全部记录下来。我那边还有其他的事情要忙，你们俩记得合作才能发挥最大的力量。”

说完，她也不等两人回答，转身离开。

于亮也是个只想要做事的性子，直接站到观察位，冷冷地出声道：

“那么我先来，李筠你负责记录现在的物镜调配情况，以及晶圆显影比例。”

“没问题。”

李筠让开自己的位置，让于亮先行，泛着这个物镜的调配特别耗费眼神和精力，等到于亮不行了，她迅速顶上就行，没必要争一时之快。

拿出他们放在一旁的记录册子，拿着笔记录下现在的情况。

和他们一样组合的人还有不少，每个人负责的物镜大小、薄厚、份数都是不一样的，只为找出最合适的搭配。

之前因为人手的问题，都是于亮自己一个人单独进行。

刚开始于亮还有些担心多了一个人会耽误自己的进度，可很快他就看出了李筠不是一般人，在他还没有提醒的时候，就已经手速飞快，把自己想要说的数据记录在册。

这种完美搭档一起做事就是顺心，短短几个小时，就已经达成了他之前一天的工作量。

于此同时到来的还有他双眼发昏的晕厥感，他不甘心地揉了揉自己晕眩的双眼，摇摇头，不甘心地往下走。

对着李筠说：“接下来你来观察，我记录。”

“可以。”

李筠将最后一笔记下，将册子和笔交到于亮手里，自己则是登上观察位，查看情况。

依据自己刚刚的观察，开始调整物镜内部的透镜位置。

于亮看到这一幕刚想提醒些什么，但很快就收回自己的手，他根据刚刚对李筠的观察，相信她不是无的放矢。

很快，当他看见新出来的数据之后，不由自主地瞪大双眼。

因为掩膜板与光刻胶基底层之间的空隙，他们能够避免掩膜的污染，制作时间大大缩短。

但同时也带来了另外一个隐患，那就是空隙的存在会使得原先的缩放比例大大变低，在晶圆上的成像会变得更加模糊。

于亮相信只要是自己的眼神没出问题的话，眼前的这个缩放比例已经达到了原先该有的水准。

不说提高，就这样的变化就足以让其他人侧目。

他有些惊讶地观察李筠的表情，在看到她还想要继续调整的时候，赶紧出声打断：

“等等！这样就很好了，你先别动。”

由于太着急，他的音量不算下，其他听到动静的人也纷纷向着两人的方向看过来。

李筠转身看到的就是这样的画面，她有些疑惑地看着于亮说：“怎么了？”

“你现在这个角度刚刚好，先别动，我这里还要再记录一点东西。”

众人一起停手的动静不算小，赵蔓也很快注意到两人这边的异样，看着其他人停下手里的事情，路过的时候小声提醒道：

“你们先别停，我去看看情况。”

众人这才歇了看热闹的心思，继续将眼神放到自己眼前，但也有些好事的，还是阻挡不了自己的好奇心，频频侧头观察李筠那边的动静。