第310节（2 / 2）

害怕出现意外。

想到如果国产极紫外光刻机制造不出来，那么他们就必须接受那些条款继续采购海外公司的高端芯片，如此先前发布的联合声明也就成了笑话。不过这也是没有办法的事情，除非眼睁睁看着庞大的公司走向衰亡。

为此各大厂商的高层会议召开的越发频繁。

奈何由于实在找不到渠道获取最新消息，大家也只能耐心等待。

就这样时间很快进入到六月份，在光电技术研究所极紫外光刻机项目组全体成员的共同努力下，首台国产极紫外光刻机终于完成组装调试。

毫无疑问这对于大家来说是个值得庆贺的日子，这么长时间的付出终于迎来了回报。

不过这个消息依旧处在保密状态中，并没有立刻对外界进行公布。

因为极紫外光刻机完成调试组装，还不算真正意义上的成功。

还需要使用光刻胶蚀刻晶圆片进行芯片制造测试。

只有顺利完成测试达到相应的成品率，这台极紫外光刻机才算真正满足要求，可以正式交付使用。

为了见证这一里程碑时刻，除了项目组成员研究所所长全部到场外，科学院院长侯盛昌得到消息后也同样第一时间飞来了锦城。

……

历史性时刻

“人员都已经到齐了，可以随时开始测试。”光电技术研究所徐昀身穿着专门的研究服，安排妥当后向身旁科学院院长侯盛昌汇报。

同样穿着研究服的侯盛昌，闻言立刻抬手道：“你是项目负责人，按照自己的安排进行即可，我这次过来主要是旁观。”说话的语气很是柔和，丝毫没有要喧宾夺主进行指挥的意思。

当初他看中徐昀的实力，亲自前往京州大学邀请其负责光刻机项目。

到今天不过才一年多的时间。

但收获却甚是巨大。

徐昀带领光电技术研究所项目团队，成功制造出了国内首台极紫外光刻机。

具备深远意义。

可以说是让国产半导体领域迈入了新的里程碑。

得知首台极紫外光刻机就要进行芯片测试时，他几乎没有任何迟疑，第一时间推掉了后面的行程乘坐飞机从帝都赶到锦城。

作为如此重要的时刻，他这个院长肯定要亲眼见证这伟大的一幕。

徐昀知道侯盛昌的性格，自然不会在这种小事上去想太多，当即嘴角噙着笑容应声回答。

“我明白了院长。”

说完便对工作人员下令道：“开始吧。”

与此同时坚守现场的罗长辉杨靖等人，尽管都穿着专业服装，却难掩心中的兴奋和激动。

他们作为研发光刻机的老人，不知多少次做梦都想看到国产极紫外光刻机，如今这个梦想眼看就要彻底变成能够触摸的现实，想依旧保持内心的平静和沉默，那实在是太难了。

甚至就连侯盛昌的呼吸都急促起来。

不过越是这个时候，大家心底那丝担忧的情绪就越发强烈。

倒不是说不信任自己这么长时间做出来的成果，只是事情没到最后一刻任何事都有可能发生。

确实难以把心彻底放下。

此次测试关乎整台光刻机的性能，只有通过测试才能进行到下一个交付环节，否则便要重新优化调试检查问题所在。

但局面变成这样的话，就不知道中间要消耗多长的调试时间。

肯定无法按照之前公开的时间交付光刻机，到那个时候半导体领域势必进一步恶化。

这种情况绝对是在场所有人都不希望看到的。

因此随着徐昀正式下达命令后，所有人都全神贯注耐心等待最终结果。

2021年6月5日，这对于国内半导体领域绝对是无比重要的一天。

研究所内由几十万零部件组成的精密仪器让人很难能移开目光，在这一刻仿佛已经形成了艺术品。

同时其价值也是普通人难以想象的。

不夸张的讲，一台极紫外光刻机的售价都高达几十亿美刀。

而徐昀采用全新核心技术研发的这台光刻机，相比阿斯麦成本上要低不少。

这点也算是国产极紫外光刻机的优势。

如果将来相互竞争的话，那么对方将很快失去原有的竞争力。

关于前期的材料准备工作早已经完成，制作成的芯片级单晶硅棒已经被切成薄片，变成高纯度的芯片级硅片也就是晶圆。

想要将晶圆制作成芯片，首先需要准备的是光刻掩膜版。

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